High temperature reactor for dopants activation in SiC substrates
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F24%3AN0000001" target="_blank" >RIV/27711170:_____/24:N0000001 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Prototyp vysokoteplotního reaktoru pro aktivaci příměsí v SiC substrátech
Original language description
V rámci řešení projektu TAČR byl vyvinut prototyp SiC VTR reaktoru pro aktivaci příměsí v SiC substrátech o průměru 150 mm při teplotách do 1800 °C.
Czech name
Prototyp vysokoteplotního reaktoru pro aktivaci příměsí v SiC substrátech
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>prot</sub> - Prototype
CEP classification
—
OECD FORD branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FW10010021" target="_blank" >FW10010021: High-temperature annealing furnace for SiC semiconductor substrates</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2024
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
PT01/SVCS/2024
Numerical identification
PT01/SVCS/2024
Technical parameters
Technické parametry výsledku: Velikost substrátů: 6“ (150 mm) Počet substrátů: 25 ks Maximální teplota v procesním prostoru: 1800 °C Nerezový, vakuově těsný, vodou chlazený plášť reaktoru Grafitové 3-zónové topení Grafitová trubka a liner Grafitová tepelná izolace Grafitová lodička
Economical parameters
Jde o laboratorní prototyp nezbytný pro další aplikovaný výzkum a finální komercionalizaci výsledků projektu.
Application category by cost
—
Owner IČO
27711170
Owner name
SVCS Process Innovation s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—