AFM Study of the Surface of Thin Tin Dioxide Films Prepared by Plasma Oxidation.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F03%3A00002343" target="_blank" >RIV/44555601:13430/03:00002343 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM

Original language description

Jsou prezentovány výsledky studia tenkých vrstev SnO2 připravovaných plazmatickou oxidací tenkých vrstev cínu. Analýza topografie povrchu vrstev byla prováděna pomocí AFM mikroskopu. Tenké vrstvy SnO2 jsou velmi často využívány jako materiál pro přípravusenzorů plynů. Výsledné vlastnosti senzorů jsou pak závislé na některých parametrech vrstev SnO2., které závisejí na způsobu přípravy vrstev. Námi použitá metoda plazmatické oxidace tak rozšiřuje doposud používaných technologií přípravy tenkých vrstev SnO2.

Czech name

Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM

Czech description

—

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Polymer Thin Films Study by AFM and Improvement of Plasma Diagnostics Methods</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2003

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Československý časopis pro fyziku

ISSN

0009-0700

e-ISSN

—

Volume of the periodical

53

Issue of the periodical within the volume

2

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

101-104

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—