RBS and XPS studies of TiOx layers prepared using PVD technique.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210173" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210173 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
RBS and XPS studies of TiOx layers prepared using PVD technique.
Original language description
The PVD-coatings were prepared using Sulzer Innotec?s closed magnetic field unbalanced magnetron sputtering facility. The deposition parameters the bias and oxygen flow rate were changed. The samples prepared were analysed by RBS (Rutherford Backscatterig Spectrometry) to determine the Ti/O ratios and the thicknesses of the coatings and by ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) to investigate the hydrogen content in the surface layer. XPS (X-ray induced Photoelectron Spectroscopy) was used to characteise the near surface composition and chemical bonding. Measurements of mechanical properties (hardness and thickness) were performed. We concluded from RBS analysis that Ti content is enhanced by the increased bias and the decreased oxygen flow rate. Weobserved the increasing hardness according to the higher Ti content in the layers prepared. We found out that the contaminated surface layer exist in which the hydrogen and carbon are incorporated.
Czech name
RBS a XPS studie TiOx vrstev připravených PVD technikou.
Czech description
PVD povlaky byly připraveny za použití zařízení Sulzer Innotec?s closed magnetic field unbalanced magnetron sputtering facility. Vylučovací parametry bias a průtok kyslíku byly měněny.Připravené vzorky byly analyzovány pomocí RBS (Rutherford Backscatterig Spectrometry) k určení poměrů Ti/O a tloušťky povlaků a pomocí ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) k zjištění obsahu vodíkuv povrchové vrstvě. XPS (X-ray induced Photoelectron Spectroscopy) byla použita k characterizaci složení u povrchu a chemikévazby. Bylo provedeno měření mechanických vlastností (tvrdost a tloušťka).Z RBS analýzplyne, že obsah Ti roste s rostoucím biasem a klesá s klesajícím průtokem kyslíku. Pozorovali jsme vzrůst tvrdosti v souladu s vyšším obsahem Ti v připravených vrstách. Zjistili jsme, že existuje znečištěná povrchová vrstva, v níž je začleněn vodík a uhlík.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JK - Corrosion and material surfaces
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Surface and Interface Analysis
ISSN
0142-2421
e-ISSN
—
Volume of the periodical
Vol.36
Issue of the periodical within the volume
No.8 2004
Country of publishing house
US - UNITED STATES
Number of pages
4
Pages from-to
1171-1173
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—