Properties of carbon coatings deposited in microwave - radio frequencyplasma reactor.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F05%3A24210252" target="_blank" >RIV/46747885:24210/05:24210252 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Properties of carbon coatings deposited in microwave - radio frequencyplasma reactor.

Original language description

Carbon layers were prepared in microwave and radio frequency plasma reactor using dual frequency method (MW/RF PCVD - microwave nad radio frequency plasma chemical vapour deposition). The parameters of the deposition were optimised to get uniform films othe stainless steel AISI 316 L. Four films were obtained from different mixtures of gases (methan/argon), different microwave power and bias voltage values. Under the terms of testing carbon films, the evaluation by nanoindentation method was carried out. The aim of this study was examination of potential dependence between nanohardness of carbon layers and their deposition conditions. Nanoindentation experiments were conducted using a Nanoindentor XP with a diamond Berkovich pyramid indentor.

Czech name

Vlastnosti uhlíkových povlaků vyloučených v mikrovlnovém radiofrekvenčním plazmovém reaktoru.

Czech description

UHlíkové vrstvy byly připraveny v mikrovlnovém a radiofrekvenčním plazmovém reaktoru s použitím metody duální frekvence (MW/RF PCVD - microwave and radio frequency plasma chemical vapour deposition). Parametry depozice byly optimalizovaány, aby se získalrovnoměrné filmy na krozivzdorné oceli AISI 316 L. Byly získány čtři filmy z různých směsí plynů(methan/argon), různých mikrovlnových příkonů a hodnot napětí biasu. Zkouška uhlíkových filmů byly provedeny nanoindentací. Cíl této studie bylo vyzkoušenípotencíálové závislosti nanotvrdosti uhlíkových vrstev a jejich vylučovacích podmínek.Nanoindentační experimenty byly provedeny s použitím nanoindentoru XP s diamantovým jehlasnem podle Berkoviche.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JJ - Other materials

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Seminar Nanotechnology and Vacuum

ISBN

80-969435-0-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

1

Pages from-to

20

Publisher name

CEVATECH

Place of publication

Bratislava, Slovakia

Event location

Bratislava, Slovakia

Event date

Jan 1, 2005

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—