Thin Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedral compositions deposited on the Si-substrate and its non-linear piezoelectric response

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24220%2F07%3A%230000182" target="_blank" >RIV/46747885:24220/07:#0000182 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Thin Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedral compositions deposited on the Si-substrate and its non-linear piezoelectric response

Original language description

This paper presents some nonlinear piezoelectric properties and strain simulation in lead zirconate-titanate Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The samples PZT (60/40), (111) orientation, rhombohedral phase composition, and PZT (54/46), (001) near MPB were prepared. The non-linear behaviour of the PZT thin film, as the effective d33,eff vs. electric field was investigated by double beam laser interferometer and optical helium cryostat. Comparing our previously obtained data, the results are discussed. As consequences, the strain distribution in active thin PZT film area under top electrode was provided by FEM (ANSYS 8.0) and demonstrated in the contribution. Simulation of the dynamic deformation of the active thin PZT film area was presented during the conference ECAPD8.

Czech name

Tenké Pb(ZrzTi1-x)O3 (PZT) rhombohedrální kompozice nanesené na Si-substrátu a jejich nelineární piezoelektrická odezva

Czech description

V příspěvku jsou presentovány některé nelineární peizoelektrické vlastnosti a simulace deformace v tenké vrstvě PZT, naprášené na substrát kompozice Pt/Ti/SiO2/Si. Připarveny a zkoumány byly vzorky PZT(60/40), orientace (111), rhombohedrální kompozice, aPZT (54/46), (001) v blízkosti MPB. Nelineární chování tenkých PZT filmů, zvláště závislost d33,eff na elektrickém poli bylo vyšetřováno pomocá dvousvazkového interferometru a optického heliového kryostatu.Výsledky byly porovnány s dříve dosaženými datya diskutovány. Pomocí MKP (ANSYS 8.0) byla vyšetřena deformace tenké vrstvy pod aktivní elektrodou. Presentována byla též dynamická deformace v omezené oblasti pod elektrodou.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA202%2F07%2F1289" target="_blank" >GA202/07/1289: Electromechanical properties of aadvanced ferroelectrics materials</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Ferroelectrics

ISSN

0015-0193

e-ISSN

—

Volume of the periodical

351

Issue of the periodical within the volume

June

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

10

Pages from-to

112-121

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—