Non-linear properties of piezoelectric thin film for MEMS devices

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24220%2F07%3A%230000183" target="_blank" >RIV/46747885:24220/07:#0000183 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Non-linear properties of piezoelectric thin film for MEMS devices
Original language description
Some nonlinear piezoelectric properties and strain distribution in the PZT thin films, sputtered on the Pt/Ti/SiO2/Si substrates, were studied. The samples of different composition and orientations were prepared by magnetron sputtering. For applicationsin MEMS, the thicknesses of the samples under test were estimated as 1.1, 1.3 and 2.2 ?m respectively. The thin film strain distibution under top electrode was investigated by ANSYS 8.0.
Czech name
Nelineární vlastnosti piezoelektrických tenkých filmů pro MEMS
Czech description
Byly studovány vybrané nelineární vlastnosti a distribude deformace v tenkých PZT filmech, nanesených na Si substrát. Vzorky různých kompozicí a orientací byly připraveny metodou magnetronového naprašování. Pro aplikace v MEMS, tloušťky vyšetřovaných vzorků byly, 1.1, 1.3 a 2.2 ?m . Distribuce deforrmace pod horní elektrodou byla vyšetřována pomocí ANSYS 8.0.

Project
<a href="/en/project/GA202%2F07%2F1289" target="_blank" >GA202/07/1289: Electromechanical properties of aadvanced ferroelectrics materials</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
8th International Workshop on Electronics, Control, Modelling, Measurement, and Signals 2007 (and Doctoral School EDSYS, GEET)
ISBN
978-80-7372-218-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
27-32
Publisher name
Technická univerzita v Liberci
Place of publication
Liberec
Event location
Liberec
Event date
May 21, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)