Technology of production of triple-layer antireflection coating (SiO2/Al2O3/MgF2) for the far ultraviolet (FUV, VUV) region of the spectrum at the wavelength of 193nm

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F14%3A%230000015" target="_blank" >RIV/47677023:_____/14:#0000015 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Technologie výroby trojnásobné antireflexní vrstvy (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm
Original language description
Technologie výroby trojnásobné antireflexní vrstvy (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.
Czech name
Technologie výroby trojnásobné antireflexní vrstvy (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm
Czech description
Technologie výroby trojnásobné antireflexní vrstvy (SiO2/Al2O3/MgF2) pro dalekou ultrafialovou (FUV, VUV) oblast spektra na vlnové délce 193nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.

Project
<a href="/en/project/TA02010784" target="_blank" >TA02010784: Optimization of thin film systems used in the optics industry</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2014
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
DP0002-2014-OT02
Numerical identification
—
Technical parameters
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory ? uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Syrus 5 DUV a zabezpečující pro deponovanou soustavu vrstev hodnoty R < 0.25% pro 193nm v kolmém dopadu
Economical parameters
Bude využito ve vlastní výrobě
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)