All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Technology of production of multi-layer antireflection coating of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F14%3A%230000017" target="_blank" >RIV/47677023:_____/14:#0000017 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

  • Original language description

    Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.

  • Czech name

    Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

  • Czech description

    Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.

Classification

  • Type

    Z<sub>tech</sub> - Verified technology

  • CEP classification

    BH - Optics, masers and lasers

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    <a href="/en/project/TA02010784" target="_blank" >TA02010784: Optimization of thin film systems used in the optics industry</a><br>

  • Continuities

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Others

  • Publication year

    2014

  • Confidentiality

    C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Data specific for result type

  • Internal product ID

    DP0002-2014-OT04

  • Numerical identification

  • Technical parameters

    Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory ? uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Syrus 2 a zabezpečující pro deponovanou soustavu vrstev hodnoty R < 0.25% pro 266nm v kolmém dopadu

  • Economical parameters

    Bude využito ve vlastní výrobě

  • Application category by cost

  • Owner IČO

    47677023

  • Owner name

    Meopta - optika, s.r.o.

  • Owner country

    CZ - CZECH REPUBLIC

  • Usage type

    P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

  • Licence fee requirement

    Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

  • Web page