Technology of production of multi-layer antireflection coating of Al2O3/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F14%3A%230000017" target="_blank" >RIV/47677023:_____/14:#0000017 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Original language description
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.
Czech name
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Czech description
Technologie výroby vícenásobné antireflexní vrstvy z materiálů Al2O3/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků ve společnosti Meopta ? optika, s.r.o.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA02010784" target="_blank" >TA02010784: Optimization of thin film systems used in the optics industry</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2014
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
DP0002-2014-OT04
Numerical identification
—
Technical parameters
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory ? uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Syrus 2 a zabezpečující pro deponovanou soustavu vrstev hodnoty R < 0.25% pro 266nm v kolmém dopadu
Economical parameters
Bude využito ve vlastní výrobě
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—