Technology of sputtering low-index SiO2 to reduce total deformation of optical element

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F19%3AN0000022" target="_blank" >RIV/47677023:_____/19:N0000022 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Technologie naprašování nízkoindexového materiálu SiO2 pro snížení celkové deformace optického elementu
Original language description
Technologie výroby nízkoindexové optické vrstvy SiO2 kombinací depozice radiofrekvenčního SiO2 a středofrekvenčního okysličeného Si technikou magnetronového naprašování. Vhodnou kombinací je možné docílit minimálního vlivu na celkovou deformaci optické plochy. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků a produktů ve společnosti Meopta – optika, s.r.o.
Czech name
Technologie naprašování nízkoindexového materiálu SiO2 pro snížení celkové deformace optického elementu
Czech description
Technologie výroby nízkoindexové optické vrstvy SiO2 kombinací depozice radiofrekvenčního SiO2 a středofrekvenčního okysličeného Si technikou magnetronového naprašování. Vhodnou kombinací je možné docílit minimálního vlivu na celkovou deformaci optické plochy. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků a produktů ve společnosti Meopta – optika, s.r.o.

Project
<a href="/en/project/TH03020196" target="_blank" >TH03020196: Advanced methods of preparation of thin film structured systems for optical applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
MEO_DP0018_2019_OT02
Numerical identification
OT
Technical parameters
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev – kombinace materiálů SiO2 a Si, tlak, teplota, napařovací rychlosti, – uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Helios 800 zabezpečující minimální vliv na deformaci nepovrstvené plochy.
Economical parameters
Bude použito ve výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)