Technology of high-reflection and edge filter coating for DUV area
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F19%3AN0000014" target="_blank" >RIV/47677023:_____/19:N0000014 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie vysoce odrazných vrstev a pásmových propustí v UV oblasti
Original language description
Vyvinutá technologie se týkala vysoce odrazných vrstev v širokém spektrálním rozsahu v UV oblasti. Cílem bylo dosáhnout odrazivosti >95% ve zvolené spektrální oblasti (min. 205-280 nm nebo 190-210 nm). Byly získány informace o polarizačním chování těchto vrstev a byla nalezena technologie pro vrstvy s minimálním vlivem na polarizační stav odraženého záření. Technologie výroby optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování za asistence plasmatu. Depozice vysokoindexových dielektrických materiálů Al2O3 nebo HfO2 v kombinaci s nízkoindexovým SiO2 za účelem výroby vysoce odrazných vrstev a pásmových propustí byla ověřena v rámci výroby vzorků a produkce ve společnosti Meopta-optika, s.r.o.
Czech name
Ověřená technologie vysoce odrazných vrstev a pásmových propustí v UV oblasti
Czech description
Vyvinutá technologie se týkala vysoce odrazných vrstev v širokém spektrálním rozsahu v UV oblasti. Cílem bylo dosáhnout odrazivosti >95% ve zvolené spektrální oblasti (min. 205-280 nm nebo 190-210 nm). Byly získány informace o polarizačním chování těchto vrstev a byla nalezena technologie pro vrstvy s minimálním vlivem na polarizační stav odraženého záření. Technologie výroby optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování za asistence plasmatu. Depozice vysokoindexových dielektrických materiálů Al2O3 nebo HfO2 v kombinaci s nízkoindexovým SiO2 za účelem výroby vysoce odrazných vrstev a pásmových propustí byla ověřena v rámci výroby vzorků a produkce ve společnosti Meopta-optika, s.r.o.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
—
OECD FORD branch
20202 - Communication engineering and systems
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TE01020229" target="_blank" >TE01020229: Center of digital optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
2019-OV-3
Numerical identification
—
Technical parameters
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory – uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Helios 800 a výrobních postupech v databázích společnosti Meopta-optika umožňují výrobu výrobu vysoceodrazných a filtrových vrstev v DUV oblasti. Jde konkrétně o odrazné vrstvy s parametry 1. DUV edge filtr s požadavkem OD5 na 229 nm a propustnost T > 80 % pro vlnové délky v rozsahu 231,3 nm - 270 nm 2. vysoce odrazivé zrcadlo 206 nm až 250 nm s odrazivostí R > 95%
Economical parameters
Využití ve vlastní výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta – optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee requirement
—
Web page
—