Deposition of thin optical films for binary photolithography application

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F19%3AN0000023" target="_blank" >RIV/47677023:_____/19:N0000023 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Depozice tenkých optických vrstev pro binární fotolitografické aplikace
Original language description
Technologie výroby optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování za asistence plasmatu. Depozice vysokoindexových dielektrických materiálů HfO2 nebo NbO2 v kombinaci s nízkoindexovým SiO2 za snížené pracovní teploty z důvodu teplotní odolnosti organických fotoresistů. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků a produkce ve společnosti Meopta-optika, s.r.o.
Czech name
Depozice tenkých optických vrstev pro binární fotolitografické aplikace
Czech description
Technologie výroby optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování za asistence plasmatu. Depozice vysokoindexových dielektrických materiálů HfO2 nebo NbO2 v kombinaci s nízkoindexovým SiO2 za snížené pracovní teploty z důvodu teplotní odolnosti organických fotoresistů. Technologie byla ověřena v rámci výroby vzorků a produkce ve společnosti Meopta-optika, s.r.o.

Project
<a href="/en/project/TH03020196" target="_blank" >TH03020196: Advanced methods of preparation of thin film structured systems for optical applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
MEO_DP0018_2019_OT01
Numerical identification
OT
Technical parameters
Parametry procesu vakuové depozice optických vrstev - tlak, teplota, napařovací rychlosti, tooling faktory – uložené v softwaru řídicí jednotky aparatury Helios 800 a zabezpečující neporušení vrstvy fotoresistu při binární optické fotolitografii.
Economical parameters
Bude použito ve výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)