Diagnostics of photocomposite material properties for microvia substrates

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F07%3A00000048" target="_blank" >RIV/49777513:23220/07:00000048 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Diagnostika parametrů fotokompozitního materiálu pro mikrovia substráty

Original language description

Rostoucí miniaturizace elektronických zařízení klade stále vyšší nároky na integraci součástek, miniaturizaci substrátů a propojovacích struktur. Jednou z metod zvýšení hustoty integrace jsou mikrovia substráty, které se vyznačují vysokou hustotou propojovacích struktur mezi jednotlivými vrstvami pomocí pokovených otvorů o průměru pod 150 &micro;m. Pro výrobu těchto otvorů lze použít několik metod, jako například vrtání, pískování, ražení, chemické a plasmatické leptání, fotolitografie a laserové vrtání. Cílem tohoto příspěvku je diagnostika mikrovia substrátů vyrobených fotolitografickou metodou za použití fotokompozitního dielektrického materiálu. Hlavním problémem použit

Czech name

Diagnostika parametrů fotokompozitního materiálu pro mikrovia substráty

Czech description

Rostoucí miniaturizace elektronických zařízení klade stále vyšší nároky na integraci součástek, miniaturizaci substrátů a propojovacích struktur. Jednou z metod zvýšení hustoty integrace jsou mikrovia substráty, které se vyznačují vysokou hustotou propojovacích struktur mezi jednotlivými vrstvami pomocí pokovených otvorů o průměru pod 150 &micro;m. Pro výrobu těchto otvorů lze použít několik metod, jako například vrtání, pískování, ražení, chemické a plasmatické leptání, fotolitografie a laserové vrtání. Cílem tohoto příspěvku je diagnostika mikrovia substrátů vyrobených fotolitografickou metodou za použití fotokompozitního dielektrického materiálu. Hlavním problémem použit

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JI - Composite materials

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Diagnostika '07

ISBN

978-80-7043-557-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

26-29

Publisher name

Západočeská univerzita

Place of publication

Plzeň

Event location

Nečtiny

Event date

Jan 1, 2007

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—