The application of neural networks for impulse response evaluation of MEMS accelerometers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F11%3A43899145" target="_blank" >RIV/49777513:23220/11:43899145 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Aplikace neuronových sítí pro vyhodnocování impulsových odezev z MEMS akcelerometrů
Original language description
Cílem tohoto článku je představit levný povýrobní test MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) akcelerometrů. Tato metoda je založena na vyhodnocování impulsové odezvy (IR) pomocí neuronové sítě, která předpovídá hodnotu důležitých parametrů MEMS součástky. Současné mechanické testování je časově i finančně náročné. Pro účely tohoto experimentu byla zvolena MEMS struktura kombinující elektro-tepelné vybuzení a piezorezistivní detekci. Pro účely tohoto experimentu byl také použit model této struktury vytvořený v SW Matlab/Simulink. Výsledky demonstrují výbornou předpověď neuronové sítě a excelentní shodu výsledků simulace s vytvořeným modelem.
Czech name
Aplikace neuronových sítí pro vyhodnocování impulsových odezev z MEMS akcelerometrů
Czech description
Cílem tohoto článku je představit levný povýrobní test MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) akcelerometrů. Tato metoda je založena na vyhodnocování impulsové odezvy (IR) pomocí neuronové sítě, která předpovídá hodnotu důležitých parametrů MEMS součástky. Současné mechanické testování je časově i finančně náročné. Pro účely tohoto experimentu byla zvolena MEMS struktura kombinující elektro-tepelné vybuzení a piezorezistivní detekci. Pro účely tohoto experimentu byl také použit model této struktury vytvořený v SW Matlab/Simulink. Výsledky demonstrují výbornou předpověď neuronové sítě a excelentní shodu výsledků simulace s vytvořeným modelem.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2011
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
56
Issue of the periodical within the volume
6
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
184-187
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—