Signature Analysis for MEMS Pseudorandom Testing Using Neural Networks

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23220%2F08%3A00500550" target="_blank" >RIV/49777513:23220/08:00500550 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Signature Analysis for MEMS Pseudorandom Testing Using Neural Networks

Original language description

The aim of this work is to develop a low-overhead, low-cost built-in test for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). The proposed method relies on processing the Impulse Response (IR) through trained neural networks, in order to predict a set of MEMS performances, which are otherwise very expensive to measure using the conventional test approach. The use of neural networks allows us to employ a low-dimensional IR signature, which results in a compact built-in test. A MEMS structure combining electro-thermal excitation and piezoresistive sensing was chosen as our case study. A behavioral model of this structure was built using Matlab for the purpose of the experiment. The results demonstrate that the neural network predictions are in excellent agreement with the simulation results of the behavioral model.

Czech name

Analýza signálu pro MEMS pseudonáhodné testování použitím neuronových sítí

Czech description

Zaměření tohoto příspěvku je ve vyvinutí přídavného a levného integrovaného testu pro MEMS systémy. Předložená metoda je založena na zpracování Impulsové Odezvy (IR) pomocí natrénované neuronové sítě pro předpovídání souboru MEMS parametrů, které jsou vsoučasnosti konvenčně zjišťovány drahým měřením. Použití neuronových sítí nám dovoluje použít nízkodimenzionální IR signaturu. MEMS struktura kombinuje elektro-termální vybuzení a piezorezistivní snímání. Tento model chování byl nasimulován pomocí Matlabu pro účely experimentu. Výsledky ukazují, že predikce neuronových sítí jsou v excelentní shodě s výsledky simulace chování modelu.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 12th IMEKO TC1-TC7 joint Symposium on Man, Science & Measurement

ISBN

2-9516453-8-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

—

Publisher name

Université de Savoie

Place of publication

Annecy

Event location

Annecy, Francie

Event date

Sep 5, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—