High-power pulsed magnetron sputtering of TiN films and their mechanical properties
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000064" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000064 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/49777513:23520/07:00000065
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
High-power pulsed magnetron sputtering of TiN films and their mechanical properties
Original language description
High-power pulsed reactive magnetron deposition of TiN films was investigated. The repetition frequency was 10kHz at a fixed 20% duty cycle and total gas pressure of 1 Pa. Time evolutions of the discharge characteristics were measured in a 90% Ar+10%N2 gas mixture at a target power density in a pulse up to 460W/cm2. Time-averaged mass spectroscopy was performed at a substrate position. It was shown that argon ions are strongly dominant in total ion fluxes onto the substrate. With an increase in the target power density, the ion energy distributions were more extended to higher energies. The increasing ion energies and fluxes, together with the increase in the ratio, resulted in changes in structure and mechanical properties of the prepared TiN films.
Czech name
Vysoko-výkonové pulzní magnetronové naprašování TiN vrstev a jejich mechanické vlastnosti
Czech description
Bylo zkoumáno vysoko-výkonové pulzní magnetronové deponování TiN filmů. Opakovací frekvence byla 10kHz, využití periody 20% a celkový tlak plynu 1Pa. Časový vývoj výbojové charakteristiky byl měřen v směsi plynů 90%Ar + 10%N2 při hustotě výkonu na terč vpulzu 460W/cm2. Časově-průměrná hmotnostní spektroskopie byla provedena v pozici substrátu. Byla zjištěna dominance (69-85%) argonových iontů v celkovém toku iontů na substrát. S nárůstem hustoty výkonu na terč se rozdělení iontů posouvá k vyšším energiím (do 50eV vzhledem k zemi). Nárůst energií a toků iontů společně s nárůstem poměru N+/N2+ dochází ke změně ve struktuře a mechanických vlastnostech (tvrdost do 27GPa) vzni
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: New resources of plasma for creation of thiny layers.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
XXVIII International conference on phenomena in ionized gases
ISBN
978-80-87026-01-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
3
Pages from-to
794-796
Publisher name
Institute of Plasma Physics AS CR
Place of publication
Prague
Event location
Praha
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—