Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000104" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000104 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/44555601:13440/07:00003789

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films

Original language description

This article reports on investigation of the correlations between the process parameters, structure, and surface morphology of sputtered TiO2 films prepared by magnetron sputtering. It has been found that the increase in the partial pressure of oxygen results in the decrease of TiO2 film deposition rate and strong changes in its structure. Maximum surface roughness was observed for films sputtered in transition mode of sputtering with the structure rutile+anatase.

Czech name

Povrchová morfologie TiO2 vrstev připravených magnetronovým naprašováním

Czech description

Článek se věnuje analýze korelací mezi parametry depozičního procesu magnetronového naprašování, povrchové morfologie a struktury fotoaktivních vrstev TiO2. Klíčovým parametrem ovlivňujícím výsledné vlastnosti vrstev TiO2 je parciální tlak kyslíku, jehožpokles vede k výraznému zvýšení depoziční rychlosti změnám struktury připravených vrstev. Maximální povrchová drsnost byla dosažena u vrstev připravených v přechodovém režimu se strukturou rutil+anatase.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

1

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—