Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000151" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000151 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/49777513:23520/07:00000152
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films
Original language description
Electron energy distribution function and local plasma parameters were investigated at the substrate position (100mm from the target) by means of time-resolved Langmuir probe diagnostics during high-power pulsed dc magnetron sputtering of copper films. Very high plasma densities were achieved at the voltage pulse repetition frequency, the pulse duration, the argon pressure and the average pulse current. At the same conditions, the kinetic temperature of electrons rose with an increasing power during a pulse. After an initial stage it was in the range 10500-12500K. Negative peaks of the floating potential were registered at the very beginning of the voltage pulse
Czech name
Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou ve vysokovýkonových pulzních dc magnetonových výbojích během depozice měděných vrstev
Czech description
Elektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostlas rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: New resources of plasma for creation of thiny layers.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
XXVIII International conference on phenomena in ionized gases
ISBN
978-80-87026-01-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
3
Pages from-to
1960-1962
Publisher name
Institute of Plasma Physics AS CR
Place of publication
Praha
Event location
Praha
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—