The influence of the deposition process onto the structural and electrical properties of ZnO:Al thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F08%3A00500494" target="_blank" >RIV/49777513:23640/08:00500494 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
The influence of the deposition process onto the structural and electrical properties of ZnO:Al thin films
Original language description
We focused our experiment on the aluminium-doped zinc oxide thin films prepared by RF sputtering onto the glass substrate. ZnO is one of the metal oxide semiconductors suitable for use in photovoltaic as the top electrode or back reflector in thin film solar cells, where it´s optical and electrical properties, such as low resistivity and high transparency are very important. Therefore all above the ingluence of deposition process on structure and electrical properties was investigated.
Czech name
Vliv procesu depozice na strukturní a elektrické vlastnosti tenkých vrstev oxidu zinku dopovaného hliníkem
Czech description
V našem experimentu jsme se zaměřili na vrstvy oxidu zinku dopovaného hliníkem vytvářené RF naprašováním na skleněný substrát. Oxid zinku je jedním z polovodičů vhodných k použití ve fotovoltaice k vytvoření vrchní elektrody či zadního reflektoru solárních článků. Optické a elektrické vlastnosti jako nízká rezistivita a vysoká propustnost jsou pro tyto aplikace důležitými vlastnostmi tohoto materiálu. Proto byl studován vliv depozičního procesu na strukturní a elektrické vlastnosti vytvářených vrstev.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Proceedings of the 14th International Conference on Applied physics of condensed matter
ISBN
978-80-227-2902-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
—
Publisher name
Slovak University of Technology
Place of publication
Bratislava
Event location
Liptovský Ján
Event date
Jun 27, 2008
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—