TECHNOLOGY OF MULTI-DIMENSIONAL PHOTONIC STRUCTURES
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F19%3A43956626" target="_blank" >RIV/49777513:23640/19:43956626 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Technologie přípravy vícedimenzionální fotonické struktury
Original language description
Tato technologie využívá v prvním kroku metodu přípravy tenkých vrstev PECVD („Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition“) pro vytvoření superstruktur a-Si/a-SiNx a ve druhém kroku jejich následné žíhání ve vakuu až do teploty 1100°C pro vytvoření změn ve struktuře (tvorba křemíkových nanokrystalů v původně amorfních křemíkových subvrstvách) vlivem rekrystalizace. Velikost křemíkových nanokrystalů je dána jednak tloušťkou subvrstev v superstruktuře, jednak teplotou žíhání. Výsledky byly ověřeny rentgenovou difrakcí, transmisní elektronovou mikroskopií a Ramanovou mikroskopií, UV-Vis spektroskopií a elipsometrií, které potvrdily výskyt nanokrystalů a řízené změny optických vlastností superstruktur.
Czech name
Technologie přípravy vícedimenzionální fotonické struktury
Czech description
Tato technologie využívá v prvním kroku metodu přípravy tenkých vrstev PECVD („Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition“) pro vytvoření superstruktur a-Si/a-SiNx a ve druhém kroku jejich následné žíhání ve vakuu až do teploty 1100°C pro vytvoření změn ve struktuře (tvorba křemíkových nanokrystalů v původně amorfních křemíkových subvrstvách) vlivem rekrystalizace. Velikost křemíkových nanokrystalů je dána jednak tloušťkou subvrstev v superstruktuře, jednak teplotou žíhání. Výsledky byly ověřeny rentgenovou difrakcí, transmisní elektronovou mikroskopií a Ramanovou mikroskopií, UV-Vis spektroskopií a elipsometrií, které potvrdily výskyt nanokrystalů a řízené změny optických vlastností superstruktur.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
—
OECD FORD branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/LO1402" target="_blank" >LO1402: CENTEM+</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
NTC-OTE-19-001
Numerical identification
NTC-OTE-19-001
Technical parameters
V prvním kroku technologie přípravy fotonických struktur byly vytvořeny amorfní multivrstvy a-Si:H/a-SiNx:H technologií PECVD. Připravené multivrstvy o celkové tloušťce cca 500 nm byly amorfní. Ve druhém kroku technologie přípravy fotonických struktur byly multivrstvy žíhány ve vakuu až na teplotu 1100°C pro inicializaci růstu křemíkových nanokrystalů uvnitř křemíkových vrstviček. Velikost křemíkových nanokrystalů je řiditelná jednak tloušťkou subvrstvy v superstruktuře, jednak teplotou žíhání. Výsledky byly ověřeny rentgenovou difrakcí, transmisní elektronovou mikroskopií, Ramanovou mikroskopií, UV-Vis spektroskopií a elipsometrií, které potvrdily výskyt nanokrystalů a řízené změny v optických vlastnostech superstruktur. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-19-001.html
Economical parameters
Výsledek je využíván příjemcem Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), ekonomické parametry se neuvádí
Application category by cost
—
Owner IČO
49777513
Owner name
Západočeská univerzita v Plzni
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—