Preparation of sputtered film for thin film piezogenerator
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F19%3A43956672" target="_blank" >RIV/49777513:23640/19:43956672 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Příprava naprašovaných vrstev pro nanostrukturní piezogenerátor
Original language description
Práce se zabývá přípravou a optimazilací ZnO vrstev použitelné pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí. Vrstva ZnO byla připravena metodou magnetronového naprašování při teplotě 100°C, což umožnuje její využití pro zařízení na flexibilních polymerních substrátech. U vrstvy byla dosažena silná preferenční orientace ve směru krystalové osy c. Dále byla zajištěna vysoká elektrická resistivita, která je důležitá pro potlačení stínění elektrického pole volným nábojem.
Czech name
Příprava naprašovaných vrstev pro nanostrukturní piezogenerátor
Czech description
Práce se zabývá přípravou a optimazilací ZnO vrstev použitelné pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí. Vrstva ZnO byla připravena metodou magnetronového naprašování při teplotě 100°C, což umožnuje její využití pro zařízení na flexibilních polymerních substrátech. U vrstvy byla dosažena silná preferenční orientace ve směru krystalové osy c. Dále byla zajištěna vysoká elektrická resistivita, která je důležitá pro potlačení stínění elektrického pole volným nábojem.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/ED2.1.00%2F03.0088" target="_blank" >ED2.1.00/03.0088: Centre of the New Technologies and Materials</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
NTC-OTE-19-002
Numerical identification
NTC-OTE-19-002
Technical parameters
Optimalizavaná technologie pro ZnO vrstvu, která je použitelná pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí s vysokou elektrickou resistivitou. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-19-002.html
Economical parameters
Výsledek je využíván příjemcem Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513. Vyvinutý piezogenerátor napětí vytvořený magnetronovým naprašováním při teplotě 100°C umožňuje výrazné snížení výrobních nákladů. Další výhodou je tvorba piezogenerátoru za běžných podmínek a to má opět vliv na snižení nákladů.
Application category by cost
—
Owner IČO
49777513
Owner name
Západočeská univerzita v Plzni
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—