Experimental and Theoretical Investigation of Plasma Enhanced Hot filament Chemical Vapour Deposition of Carbon Nanotubes
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F05%3A00006411" target="_blank" >RIV/60076658:12410/05:00006411 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Experimental and Theoretical Investigation of Plasma Enhanced Hot filament Chemical Vapour Deposition of Carbon Nanotubes
Original language description
The plasma enhanced hot filament chemical vapor deposition used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were measured inrelation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the nanotubes' growth. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles takes place predominantly in the sheathregion, close to the negative biased substrate. Model calculations demonstrate the role of the electrical forces on the aligned growth of nanotubes and optimum properties for electron field emission from the nanotube tips.
Czech name
Experimentální a teoretický výzkum depozice uhlíkových nanotrubic metodou PE CVD
Czech description
Proces PECVD při depozici uhlíkových nanotrubic byl studován prostřednictvím Langmuirovy sondy a optické spektroskopie. Elektronová hustota a teplota a potenciál plazmatu byly analyzovány ve vztahu k napětí výboje a teplotě substrátu. Výsledky jsou diskutovány v souvislosti s podmínkami růstu nanotrubic. Je ukázáno, že produkce těžkých částic probíhá především v příelektrodové oblasti, v blízkosti substrátu o záporném napětí. Modelové výpočty demonstrují vliv elektrických sil na zarovnaný růst nanotrubic a stanovují optimální podmínky pro polní emisi elektronů z jejich zakončení.
Classification
Type
C - Chapter in a specialist book
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Book/collection name
In: M. Mutlu, G. Dinescu, R. Förch, J.M.M. Martinez, J. Vyskocil (Eds) Plasma Polymers and Related Materials
ISBN
975-491-194-0
Number of pages of the result
5
Pages from-to
58-62
Number of pages of the book
—
Publisher name
Hacettepe University Press
Place of publication
Ankara
UT code for WoS chapter
—