Micro-structuring of thin metallic layers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F07%3A00018009" target="_blank" >RIV/60461373:22340/07:00018009 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
Original language description
Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení techniknanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovýmmletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení "elektrolytická dioda".
Czech name
Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
Czech description
Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení techniknanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovýmmletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení "elektrolytická dioda".
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
CI - Industrial chemistry and chemical engineering
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Sborník workshopu: Inženýrské mikrosystémy pro biotechnologické aplikace
ISBN
978-80-7080-020-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
7
Pages from-to
75-81
Publisher name
VŠCHT Praha
Place of publication
Praha
Event location
Praha
Event date
Jun 19, 2007
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—