Development of the process of ion beam sputtering of the ITO thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F16%3A00473088" target="_blank" >RIV/61389021:_____/16:00473088 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Optimalizace a testování ITO vrstev
Original language description
Všechny depozice ITO probíhaly za pokojové teploty na BK7 substrát tloušťky 80 mm. Během, někdy i po depozici, se teplota v komoře mírně zvyšovala především při použití asistenčního děla, nikdy však nepřesáhla 40 °C. Rychlost odprašování je relativně vysoká, proto byly použity relativně nízké výkony primárního iontového děla (KDC). Optimalizovala se příprava bez i s použitím asistenčního iontového děla (IBAD) s kyslíkovým nebo kyslíkovo-argonovým výbojem. Rychlost depozice určena podle krystalového monitoru (CRY), reálná se mírně liší podle typu depozice. Tloušťky vrstev určeny na základě měření elipsometru. Odpor měřen přiložením kontaktů na okraje vzorku v prostředku podél homogenní tloušťky vrstvy.
Czech name
Optimalizace a testování ITO vrstev
Czech description
Všechny depozice ITO probíhaly za pokojové teploty na BK7 substrát tloušťky 80 mm. Během, někdy i po depozici, se teplota v komoře mírně zvyšovala především při použití asistenčního děla, nikdy však nepřesáhla 40 °C. Rychlost odprašování je relativně vysoká, proto byly použity relativně nízké výkony primárního iontového děla (KDC). Optimalizovala se příprava bez i s použitím asistenčního iontového děla (IBAD) s kyslíkovým nebo kyslíkovo-argonovým výbojem. Rychlost depozice určena podle krystalového monitoru (CRY), reálná se mírně liší podle typu depozice. Tloušťky vrstev určeny na základě měření elipsometru. Odpor měřen přiložením kontaktů na okraje vzorku v prostředku podél homogenní tloušťky vrstvy.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2016
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Number of pages
8
Place of publication
Turnov
Publisher/client name
Crytur
Version
—