Some numerical models of dispersion curve fitting

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27670%2F04%3A00011174" target="_blank" >RIV/61989100:27670/04:00011174 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Some numerical models of dispersion curve fitting
Original language description
The parameters of two dispersion models for Si3N4 dots of multilayer 2D grating are established by the fitting procedures. The Gauss-Newton and Levenberg-Marquardt fitting algorithms are compared. Spectral ellipsometric measurements as the resource of experimental data are reported. In the objective function, various weighting coefficients corresponding to ellipsometric angles are tested.
Czech name
Některé numerické modely fitování disperzních křivek
Czech description
Fitovací procedurou jsou stanoveny parametry dvou disperzních modelů 2D mřížek se Si3N4 doty. Jsou porovnávány Gaussův-Newtonův a Levenbergův-Marquardtův fitovací algoritmus. Jako zdroj experimentálních dat jsou uváděna konkrétní spektrálně elipsometrická měření. V cenové funkci jsou testovány různé váhové koeficienty pro elipsometrické úhly.

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of SPIE, Microwave and Optical Technology 2003
ISBN
0277-786X/04
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
230-234
Publisher name
SPIE - The International Society for Optical Engineering
Place of publication
Bellingham
Event location
Ostrava
Event date
Aug 11, 2003
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)