Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013296" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013296 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216208:11320/05:00001494 RIV/61989100:27350/05:00013313

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate

Original language description

Specular-mode spectroscopic ellipsometry is applied to analyze the optical response of gratings fabricated on a thick transparent plate substrate. The principles of the optical response of the gratings are described by employing incoherent contributionsdue to backreflections in the finite transparent substrate medium. A special function identifies a "diminution effect" caused by deflecting the secondary contributions from the primary beam axis. Two different methods are used to measure the ellipsometric response, a liquid solution method with the backreflections eliminated and a method including the incoherent backreflections. The grating parameters deduced by fitting from the measurement using the first method are applied to simulate the ellipsometric response using the second method. The spectral dependencies yielded by both methods are compared with remarkable agreement between the simulations and the measurements, which suggests the high usability of the backreflection method in t

Czech name

Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritické velikosti mřížek vyrobených na tlustých transparentních substrátech

Czech description

Mód zrcadlové spektroskopické elipsometrie je aplikován pro analýzu optické odezvy mřížek vyrobených na transparentních podložkách v podobě tlustých destiček. Podstata optické odezvy mřížek je popsána na základě využití nekoherentních příspěvků způsobených zpětnými odrazy v konečném transparentním prostředí podložky. Speciální funkce identifikuje "diminution efekt" způsobený deflekcí sekundárních příspěvků z primárního svazku. Dvě různé metody jsou užity k měření elipsometrické odezvy, kapalinová metodas eliminací zpětných odrazů a metoda zahrnující nekoherentní zpětné odrazy. Mřížkové parametry dedukované z fitování měření užitím první metody jsou aplikovány k simulaci elipsometrické odezvy použitím druhé metody. Spektrální závislosti poskytnuté oběma metodami jsou srovnány s výborným souhlasem simulací a měření, což nasvědčuje vysokou použitelnost metody zpětných odrazů při metrologické charakterizaci mřížek vytvořených na transparentních deskách.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

—

Volume of the periodical

97

Issue of the periodical within the volume

5

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

7

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—