System for deposition of perovskite layers

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F07%3A00005098" target="_blank" >RIV/61989592:15310/07:00005098 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Systém pro realizaci depozice perovskitových vrstev

Original language description

Systém využívá pro depozici dielektrických vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO - ferroelektrické perovskity), vykazujících výraznou závislost permitivity na přiloženém stejnosměrném elektrickém napětí, vysokofrekvenčního (RF) plazmochemického reaktoru s proudícímplazmatickým kanálem a s alespoň dvěma dutými katodami napojenými na přívod pracovního plynu, které jsou vybaveny samostatným výkonovým RF generátorem, přitom katody jsou opatřeny tryskami z dielektrických materiálů BaTiO3 a SrTiO3. S pomocí měření RF proudu a napětí vzorkovacími osciloskopy lze systémem dosáhnout rychlé depozice nehomogenních vrstev vhodné kvality se spojitě proměnlivým stechiometrickým parametrem x. Vzhledem k nízké teplotě neutrální složky plazmatu blízké pokojové teplotě (teplota elektronů je 100 000 K) lze vrstvy deponovat i na teplotně citlivé podložky.####

Czech name

Systém pro realizaci depozice perovskitových vrstev

Czech description

Systém využívá pro depozici dielektrických vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO - ferroelektrické perovskity), vykazujících výraznou závislost permitivity na přiloženém stejnosměrném elektrickém napětí, vysokofrekvenčního (RF) plazmochemického reaktoru s proudícímplazmatickým kanálem a s alespoň dvěma dutými katodami napojenými na přívod pracovního plynu, které jsou vybaveny samostatným výkonovým RF generátorem, přitom katody jsou opatřeny tryskami z dielektrických materiálů BaTiO3 a SrTiO3. S pomocí měření RF proudu a napětí vzorkovacími osciloskopy lze systémem dosáhnout rychlé depozice nehomogenních vrstev vhodné kvality se spojitě proměnlivým stechiometrickým parametrem x. Vzhledem k nízké teplotě neutrální složky plazmatu blízké pokojové teplotě (teplota elektronů je 100 000 K) lze vrstvy deponovat i na teplotně citlivé podložky.####

Type

X - Unclassified

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M06002" target="_blank" >1M06002: Optical structures, detection systems and relevant technologies for low photon number applications</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů