Metrology of micromirrors with replicated multilayers

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F67985815%3A_____%2F07%3A00305449" target="_blank" >RIV/67985815:_____/07:00305449 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Metrology of micromirrors with replicated multilayers
Original language description
Replicated multilayers inside the rotationally symmetric x-ray mirrors with diameter 0.5-4 mm are being investigated. While the replicated Micromirror technology as well as replicated multilayers on the planar surface were already studied, we present here the combination of both technologies. Initial simulations and development of metrology of multilayers inside small cavities are described, as well as very first results of experiments.
Czech name
Metrologie mikrozrcadel s multivrstvami
Czech description
Replikované multivrstvy uvnitř rentgenových objektivů s průměrem 0.5 - 4 mm jsou vyšetřované. a diskutované Zatímco opakované Micromirror technologie stejně jako opakované vícevrstvé režimy na rovinném povrchu byly již studované, my prezentujeme zde kombinaci obou technologií. Počáteční simulace a vývoj metrologie vícevrstvých režimů uvnitř malých dutin jsou popisované, stejně jako vůbec první výsledky experimentální.

Project
<a href="/en/project/IAAX01220701" target="_blank" >IAAX01220701: Material and X-Ray Optical Properties of Formed Silicon Monocrystals</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)