Metrology of micromirrors with replicated multilayers

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04137246" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04137246 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/28400020:_____/07:#0000003
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Metrology of micromirrors with replicated multilayers
Original language description
Replicated multilayers inside the rotationally symmetric x-ray mirrors with diameter 0.5-4 mm are being investigated. While the replicated Micromirror technology as well as replicated multilayers on the planar surface were already studied, we present here the combination of both technologies. Initial simulations and development of metrology of multilayers inside small cavities are described, as well as very first results of experiments.
Czech name
Metrologie mikrozrcadel s replikovanými multivrstvami
Czech description
Je zkoumána replikace multivrstev uvnitř rotačně symetrických zrcadel s průměrem 0.5-4 mm. Replikace multivrstev na plochý substrát a stejně tak výroba replikovaných mikrozrcadel je zvládnutý proces, je zde prezentována kombinace obou technologií. Popsány jsou úvodní simulace a vývoj metrologie multivrstev uvnitř malých dutin včetně prvních měření.

Project
<a href="/en/project/FT-TA3%2F112" target="_blank" >FT-TA3/112: X-ray multilayer mirrors replication technology.</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)