Fabrication of Multilevel Diffractive Optical Elements using Electron Beam Lithography.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F03%3A12030001" target="_blank" >RIV/68081731:_____/03:12030001 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Příprava víceúrovňových difraktivních optických elementů elektronovou litografií.
Original language description
V této publikaci jsou uvedeny výsledky prací týkajících se přípravy binárních a víceúrovňových fázových optických prvků (PDOE) užitím technologie el ektronové litografie. Technologie elektronové litografie byla použita přím o pro modifikaci reliéfů tenkých vrstev rezistu PMMA tak, aby vytvořená re liéfní struktura v PMMA byla opticky funkční pro daný fázový optický eleme nt. V práci jsou diskutovány problémy související s možnostmi elektronové litografie vytvářet definované 3D reliéfní struktury v tenkých vrstvách rezistu PMMA.
Czech name
Příprava víceúrovňových difraktivních optických elementů elektronovou litografií.
Czech description
—
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/IBS2065014" target="_blank" >IBS2065014: Submicrometer relief diffractive structures made by electron-beam lithography.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2003
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
48
Issue of the periodical within the volume
5
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
138-141
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—