Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109026" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109026 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM
Original language description
In an UHV apparatus designed in ISI Brno, a low-energy SEM (a scanning LEEM) is realized by adding a cathode-lens attachment to a SEM. Our aim is redesign the LESEM in the apparatus to allow the detection of the angular distribution of signal electrons.For this we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). For this we have to design a new electrostatic optics working in UHV
Czech name
Detekce úhlového rozložení signálních elektronů v nízkoenergiovém REM
Czech description
V ultravakuové aparatuře navržené v ÚPT AVČR byl realizován nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop přidáním katodové čočky do standardního REM. Naším cílem je upravit nízkoenergiový mikroskop pro detekci úhlového rozložení signálních elektronů.Ke splnění cíle musíme oddělit signální elektrony od primárních pomocí Wienova filtru a zobrazit zadní ohniskovou rovinu objektivové čočky na polohově citlivý detektor (ze zadní strany osvětlovaný CCD). Pro tento účel byl navržen nový elektrostatický optický systém pracující v ultravakuových podmínkách

Project
<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
337-338
Publisher name
Belgian Society for Microscopy
Place of publication
Liege
Event location
Antwerp
Event date
Aug 22, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)