Design of the Low-Voltage SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109051" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109051 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Design of the Low-Voltage SEM
Original language description
Our aim is to redesign the low-energy SEM (a scanning LEEM) in an UHV apparatus designed in our institute to allow the detection of the angular distribution of signal electrons. For this purpose we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). Therefore we have to design a new electrostatic optics working in UHV
Czech name
Návrh nízkoenergiového REM
Czech description
Naším cílem je upravit nízkoenergiový mikroskop, který byl realizován v ÚPT AVČR , pro detekci úhlového rozložení signálních elektronů. Ke splnění cíle musíme oddělit svazek signálních elektronů od svazku primárních elektronů pomocí Wienova filtru a zobrazit zadní ohniskovou rovinu objektivové čočky na polohově citlivý detektor (ze zadní strany osvětlovaný CCD). Pro tento účel byl navržen nový elektrostatický optický systém pracující v ultravakuu

Project
<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
80-239-3246-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
75-76
Publisher name
Institute of Scientific Instruments AS CR
Place of publication
Brno
Event location
Skalský Dvůr
Event date
Jul 12, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)