Functional sample of a UHV-SEM/SPM platform
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F15%3A00000002" target="_blank" >RIV/01733214:_____/15:00000002 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Funkční vzorek UHV-SEM/SPM platformy
Original language description
Funkční vzorek vývojové platformy na bázi ultravakuového elektronového mikroskopu s komerčním rastrovacím sondovým mikroskopem (SPECS- Curlew) je sestavován. Pro tento účel byl vyvinut speciální (ultravakuově kompatibilní) tubus elektronového mikroskopu. Bylo dokončeno zhotovení, testování a optimalizace UHV-kompatibilního tubusu, skládající s UHV komorou s vnitřním magnetickým stíněním a manipulátorem osy Z. Bylo dokončeno testování analytické komory, která byla osazena čerpacím systémem a odplyněna. Z detekčních systémů, komora je osazena s „in-column“ detektorem sekundárních a zpětně odražených elektronů. Systém je vybaven rovněž zakládací komůrkou – vakuovou propustí, která usnadňuje rychlé a opakovatelné zakládání vzorků do UHV komory bez narušení ultravakuových podmínek. Součástí vyvíjené platformy je UHV kompatibilní SPM. Jedná se o rastrovací sondový mikroskop, optimalizovaný pro instalaci do vyvíjené aparatury a použití v kombinaci s elektronovým mikroskopem (SEM), který je namontován do UHV tubusu.
Czech name
Funkční vzorek UHV-SEM/SPM platformy
Czech description
Funkční vzorek vývojové platformy na bázi ultravakuového elektronového mikroskopu s komerčním rastrovacím sondovým mikroskopem (SPECS- Curlew) je sestavován. Pro tento účel byl vyvinut speciální (ultravakuově kompatibilní) tubus elektronového mikroskopu. Bylo dokončeno zhotovení, testování a optimalizace UHV-kompatibilního tubusu, skládající s UHV komorou s vnitřním magnetickým stíněním a manipulátorem osy Z. Bylo dokončeno testování analytické komory, která byla osazena čerpacím systémem a odplyněna. Z detekčních systémů, komora je osazena s „in-column“ detektorem sekundárních a zpětně odražených elektronů. Systém je vybaven rovněž zakládací komůrkou – vakuovou propustí, která usnadňuje rychlé a opakovatelné zakládání vzorků do UHV komory bez narušení ultravakuových podmínek. Součástí vyvíjené platformy je UHV kompatibilní SPM. Jedná se o rastrovací sondový mikroskop, optimalizovaný pro instalaci do vyvíjené aparatury a použití v kombinaci s elektronovým mikroskopem (SEM), který je namontován do UHV tubusu.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2015
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
UHV-SEM
Numerical identification
—
Technical parameters
Nagavalli S. Kiran, kiran@tescan.cz; 530 353 131
Economical parameters
Funkční vzorek přístroje je základem pro vývoj vlastní vyspělý SPM, který bude kompatibilní s ultravakuovými podmínkami.
Application category by cost
—
Owner IČO
01733214
Owner name
TESCAN Brno, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—