Design of low energy SEM with electrostatic optics and matrix detector

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022419" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022419 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Design of low energy SEM with electrostatic optics and matrix detector
Original language description
The detectors usually used for the collection of signal electrons in scanning electron microscopes (SEM) give little or no information on the angular or energy distribution of signal. If such an information is needed, another type of detector, a matrix CCD detector, has to be applied. Our paper describes the design of a SEM using this type of detector. The experimental apparatus designed at ISI Brno is an ultra high vacuum (UHV) low energy SEM (LESEM) with a cathode lens.
Czech name
Návrh nízko-energiového rastrovacího elektronového mikroskopu s elektrostatickou optikou a maticovým detektorem
Czech description
Detektory používané v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) dávají malou nebo vůbec žádnou informaci o energiovém nebo úhlovém rozdělení signálních elektronů. Jestliže je taková informace potřebná, musí být použit jiný typ detektoru ? maticový CCD detektor. Článek popisuje návrh REM s tímto typem detektoru. Experimentální aparatura navržená v ÚPT AV ČR je ultravakuový nízko-energiový REM s katodovou čočkou.

Project
<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings - 7th Multinational Congress on Microscopy (MCM 2005)
ISBN
961-6303-69-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
365-366
Publisher name
Jožef Stefan Institute
Place of publication
Ljubljana
Event location
Portorož
Event date
Jun 26, 2005
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)