Design Of Detector Optics For A Low Energy SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022407" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022407 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Design Of Detector Optics For A Low Energy SEM
Original language description
Our paper describes the design of detector optics for a low-energy SEM (LESEM) with a cathode lens. The cathode lens not only determines the optical properties of LESEM but it also accelerates the signal electrons into the column, where the signal electrons are separated by a weak Wien filter from the primary beam and they are transferred in the direction of the CCD detector by an electrostatic transfer lens.
Czech name
Návrh detekční optické trasy pro nízko-energiový rastrovací elektronový mikroskop
Czech description
Příspěvek se zabývá návrhem detekční optiky pro nízko-energiový rastrovací elektronový mikroskop s katodovou čočkou. Katodová čočka nejenom určuje optické vlastnosti mikroskopu tohoto typu, ale také urychluje signální elektrony dovnitř tubusu. Zde jsou signální elektrony separovány pomocí slabého Wienova filtru od elektronů primárního svazku a pomocí elektrostatické transportní čočky jsou směrovány na CCD detektor.

Project
<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./
ISBN
1019-6447
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
1
Pages from-to
59
Publisher name
Paul Scherrer Institute
Place of publication
Villigen
Event location
Davos
Event date
Aug 28, 2005
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)