Methodology of slow electron microscopy with cathode lens
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00047353" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00047353 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Methodology of slow electron microscopy with cathode lens
Original language description
Conventional scanning electron microscope with the primary electron beam of energy 10 keV or more is equipped by the cathode lens with the sample serving as the cathode. In the field of the cathode lens the primary beam, already formed and focused, is retarded to an arbitrarily low energy, and in the same field the emitted electrons are accelerated and collimated toward optical axis. The cathode lens is completed with a detector of the signal beam, situated either above the objective lens or below it, and in the later case combined with anode of the cathode lens. Correcting effect of the cathode lens reduces significantly aberrations of the assembly and enables one to achieve image resolution in units of nanometers for the electron landing energy evenin the range of units of electronvolts.
Czech name
Metodika mikroskopie pomalými elektrony s katodovou čočkou
Czech description
Standardní rastrovací elektronový mikroskop s primárním svazkem elektronů o energii 10 keV nebo více je doplněn o katodovou čočku s preparátem fungujícím jako katoda. V poli katodové čočky je již zformovaný a zaostřený svazek elektronů zpomalen na libovolně nízkou energii, a v témže poli jsou emitované elektrony urychleny a kolimovány k optické ose. Katodová čočka je doplněna o detektor signálního svazku, který je umístěn buď nad objektivem mikroskopu nebo se nachází pod ním a v tom případě je sloučen sanodou katodové čočky. Korekční účinek katodové čočky výrazně redukuje zobrazovací vady a umožňuje dosáhnout rozlišení jednotek nanometrů i pro energii dopadu elektronů v jednotkách elektronvoltů.
Classification
Type
X - Unclassified
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů