A very low energy electron column for surface studies
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F01%3A00205547" target="_blank" >RIV/68081731:_____/01:00205547 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
A very low energy electron column for surface studies
Original language description
We report on the development of a small size (9 cm in length and 4.5 in diameter) all electrostatic field emission column for use in surface analysis and very low energy studies. The column focuses a beam of electrons over the energy range of 1-10,000 eVthrough the use of the cathode lens mode. The cathode lens mode employs an in-lens electron detector, which is placed between the gun lens and the objective lens. An electron beam diameterof 80 nm and beam current of order 10-9 A are predicted for a working distance of 5 mm and electron beam energy of 5 keV. When the column is operated in the cathode lens mode, an electron beam diameter <250 nm at 10 eV is expected.
Czech name
Osvětlovací systém s velmi pomalými elektrony pro studium povrchů
Czech description
Je podána zpráva o vývoji miniaturního (délka 9 cm a průměr 4,5 cm) elektrostatického autoemisního osvětlovacího systému pro použití při analýze povrchů a práci na velmi nízkých energiích. Systém fokusuje svazek elektronů v energiovém rozsahu 1 až 10000eV použitím režimu katodové čočky. Režim katodové čočky používá detektor elektronů typu in-lens, umístěný mezi kondenzor a objektiv. Pro pracovní vzdálenost 5 mm a energii svazku elektronů 5 keV byl vypočten průměr stopy svazku 80 nm a proud svazku v řádu 10-9 A. Je-li systém provozován v režimu katodové čočky, předpokládá se průměr stopy pod 250 nm při energii 10 event.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2001
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Proceedings of the Institute of Physics electron microscopy and analysis group conference
ISBN
0-7503-0812-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
111-114
Publisher name
Institute of Physics Publishing
Place of publication
Bristol
Event location
Dundee
Event date
Sep 5, 2001
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—