All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Influence of tilt of sample on axial beam properties

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315084" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315084 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    angličtina

  • Original language name

    Influence of tilt of sample on axial beam properties

  • Original language description

    A sample in a vacuum chamber of a scanning electron microscope equipped with a cathode lens should be perpendicular to the axis because the energy of primary electrons is about ten eV. In real situations the tilt of the sample about one or two degrees ispossible. The sample is an electrode and its tilt breaks the rotation symmetry of the system. It causes that parasitic field is present, which easily influences the properties of a low energy beam. We simulated the influence of the tilt of sample on axial beam properties for the electron beam with energy 10 keV in front of the objective lens the energy of primary impacting electrons on the sample was 10 eV.

  • Czech name

    Vliv náklonění vzorku na vlastnosti osového svazku

  • Czech description

    Vzorek v komoře elektronového mikroskopu s katodovou čočkou by měl být kolmý na osu. V reálném zařízení je však možné, že je vzorek vlivem nepřesností nakloněn o jeden či dva stupně. Protože je mezi vzorek a objektiv přivedeno brzdné napětí, naklonění vzorku způsobuje porušení rotační symetrie elektrostatického pole v katodové čočce, to pak vede ke vzniku parazitického dipólového pole, které snadno ovlivňuje vlastnosti dopadajícího svazku s nízkou energií. V příspěvku byl popsán vliv naklonění vzorku ojeden stupěň na svazek o energii 10 keV před objektivem a 10 eV na vzorku.

Classification

  • Type

    D - Article in proceedings

  • CEP classification

    JA - Electronics and optoelectronics

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    <a href="/en/project/IAA100650805" target="_blank" >IAA100650805: Misalignment aberrations in electron optical systems</a><br>

  • Continuities

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Others

  • Publication year

    2008

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Article name in the collection

    EMC 2008 - 14th European Microscopy Congress - Volume 1: Instrumentation and Methods

  • ISBN

    978-3-540-85154-7

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Number of pages

    2

  • Pages from-to

  • Publisher name

    Springer

  • Place of publication

    Berlin

  • Event location

    Aachen

  • Event date

    Sep 1, 2008

  • Type of event by nationality

    WRD - Celosvětová akce

  • UT code for WoS article