Influence of tilt of sample on axial beam properties
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315084" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315084 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Influence of tilt of sample on axial beam properties
Original language description
A sample in a vacuum chamber of a scanning electron microscope equipped with a cathode lens should be perpendicular to the axis because the energy of primary electrons is about ten eV. In real situations the tilt of the sample about one or two degrees ispossible. The sample is an electrode and its tilt breaks the rotation symmetry of the system. It causes that parasitic field is present, which easily influences the properties of a low energy beam. We simulated the influence of the tilt of sample on axial beam properties for the electron beam with energy 10 keV in front of the objective lens the energy of primary impacting electrons on the sample was 10 eV.
Czech name
Vliv náklonění vzorku na vlastnosti osového svazku
Czech description
Vzorek v komoře elektronového mikroskopu s katodovou čočkou by měl být kolmý na osu. V reálném zařízení je však možné, že je vzorek vlivem nepřesností nakloněn o jeden či dva stupně. Protože je mezi vzorek a objektiv přivedeno brzdné napětí, naklonění vzorku způsobuje porušení rotační symetrie elektrostatického pole v katodové čočce, to pak vede ke vzniku parazitického dipólového pole, které snadno ovlivňuje vlastnosti dopadajícího svazku s nízkou energií. V příspěvku byl popsán vliv naklonění vzorku ojeden stupěň na svazek o energii 10 keV před objektivem a 10 eV na vzorku.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/IAA100650805" target="_blank" >IAA100650805: Misalignment aberrations in electron optical systems</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
EMC 2008 - 14th European Microscopy Congress - Volume 1: Instrumentation and Methods
ISBN
978-3-540-85154-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
—
Publisher name
Springer
Place of publication
Berlin
Event location
Aachen
Event date
Sep 1, 2008
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—