The composition of the image signal in the scanning low energy electron microscope

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109028" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109028 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

The composition of the image signal in the scanning low energy electron microscope

Original language description

In a medium class scanning electron microscope (SEM) the specimen is placed in a space almost free of any field, since only a negligible magnetic field penetrates outside the objective lens and only a weak electrostatic field is used to attract secondaryelections (SE) to a side detector. Coaxial detectors of backscattered electrons (BSE) rely on straight trajectories not affected by fields. Advanced high resolution SEM usually has the specimen immersed in a strong magnetic field that greatly influencesthe trajectories in the signal flow - this particularly applies to low energy operation. Furthermore, innovative detection assemblies employ tailored systems of field generating electrodes in order to transport signal electrons to the "upper" SE detector or other arrangements above the objective lens

Czech name

Složení obrazového signálu v rastrovacícm nízko-energiovém elektronovém mikroskopu

Czech description

Ve střední třídě rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM) je vzorek umístěn v prostoru téměř bez pole, poněvadž pouze zanedbatelné magnetické pole proniká mimo objektivovou čočku a jen slabé elektrostatické pole je použito pro přitažení sekundárních elektronů (SE) k bočnímu detektoru. Osově souměrné detektory zpětně odražených elektronů (BSE) se opírají o přímé trajektorie neovlivňované poli. Pokročilé SEM s vysokým rozlišením mají vzorek obvykle umístěný v silném magnetickém poli, jež významně ovlivňuje signální trajektorie - to se uplatňuje zejména při práci na nízkých energiích. Kromě toho nové detekční sestavy využívají specielní systémy elektrod vytvářejících pole sloužící k transportu signálních elektronů k "hornímu" SE detektoru nebo k jinýmuspořádáním nad objektivovou čočkou

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Wave-optical contrasts in the scanning electron microscope</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

323-324

Publisher name

Belgian Society for Microscopy

Place of publication

Liege

Event location

Antwerp

Event date

Aug 22, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—