Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00089380" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00089380 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

Original language description

The standard way of secondary electron (SE) detection in the scanning electron microscope (SEM) is to use the Everhart-Thornley (ET) detector. Only weak electrostatic field attracts low energy SEs. Let us call this system the standard detector. Althoughthe ET detector has been around for more than fifty years, it remains the most frequently used type of detector in SEMs. Modern SEMs have improved their image resolution by so called immersion systems, allowing a strong magnetic field of the objective lens to penetrate into the specimen region. In that case, two ET detectors are usually used: one is located above the objective lens, and the other below it (upper and lower detector). The resulting contrast of the SE images depends on SE energy and on theangular sensitivity of detectors, which is a result of specific distributions of electrostatic and magnetic fields in the specimen region.

Czech name

Strategie sběru sekundárních elektronů v REM

Czech description

Standardní způsob detekce sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) je pomocí Everhartova-Thornleyho (ET) detektoru. Systém, kde pouze slabé elektrostatické pole přitahuje nízkoenergiové sekundární elektrony, nazveme standardní detektor. Ačkoli je ET detektor znám 50 let, stále je nejčastěji používaným detektorem v REM. V současných REM se používá pro dosažení lepšího rozlišení tzv. imersní systém umožňující aby silné magnetické pole objektivové čočky pronikalo do oblasti vzorku. V tomto systému se používají obvykle dva ET detektory: jeden umístěný v objektivové čočce a druhý pod ní (horní a spodní detektor). Výsledný kontrast SE obrazu závisí na energii sekundárních elektronů a na úhlové citlivosti detektorů, která je výsledkem konkrétních rozložení elektrostatických a magnetických polí v oblasti vzorku.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Volume of the periodical

13

Issue of the periodical within the volume

Suppl. 3

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

2

Pages from-to

78-79

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—