Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022381" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022381 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons

Original language description

The use of a thinned back side illuminated charge coupled device chip as two-dimensional sensor working in direct electron bombarded mode at optimum energy of the incident signal electrons is demonstrated and the measurements of the modulation transfer function (MTF) and detective quantum efficiency (DQE) is described. The MTF was measured for energy of electrons 4 keV using an edge projection method and a stripe projection method. The decrease of the MTF for a maximum spatial frequency of 20.8 cycles/mm is 0.75 - 2.5 dB, and it is approximately the same for both horizontal and vertical directions. DQE was measured using an empty image and the mixing factor method. Empty images were acquired for energies of electrons from 2 to 5 keV and for various doses, ranging from nearly dark image to a nearly saturated one. DQE increases with increasing energy of bombarded electrons and reaches 0.92 for electron energy of 5 keV.

Czech name

Modulační přenosová funkce a detekční kvantová účinnost elektrony bombardovaného CCD detektoru elektronů s nízkou energií

Czech description

Je demonstrováno použití ztenčeného zpětně osvětlovaného CCD čipu jako dvourozměrného detektoru pracujícího v režimu přímého bombardování elektrony při optimální energii signálních elektronů. Je popsáno měření modulační přenosové funkce (MTF) a detekčníkvantové účinnosti (DQE). MTF byla měřena pro energii elektronů 4 keV metodou projekce hrany a metodou projekce pruhů. Pokles MTF pro maximální prostorovou frekvenci 20,8 pruhů/mm je 0,75 - 2,5 dB a je přibližně stejný v horizontálním i vertikálním směru. DQE byla měřena metodou prázdného (nemodulovaného) obrazu a mixing faktoru. Obrazy byly sejmuty pro energie elektronů od 2 do 5 keV. DQE roste s rostoucí energií bombardujících elektronů a dosahuje 0,92 pro energii 5 keV.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Review of Scientific Instruments

ISSN

0034-6748

e-ISSN

—

Volume of the periodical

76

Issue of the periodical within the volume

9

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

6

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—