Corrections of Magnification and Focusing in a Cathode Lens-Equipped Scanning Electron Microscope

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00043765" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00043765 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Corrections of Magnification and Focusing in a Cathode Lens-Equipped Scanning Electron Microscope

Original language description

One of the well-proven and efficient methods of obtaining a very low-energy impact of primary electrons in the scanning electron microscope is to introduce a retarding field element below the pole piece of the objective lens (OL). It is advantageous to use the specimen alone as the negatively biased electrode (i.e., cathode of the cathode lens). The optical power of the cathode lens modifies some of the standard parameters of the image formation such as relation of working distance to OL excitation or magnification to the scanning coils current, the impact angle of primary electrons, and so forth. In computer-controlled electron microscopes these parameters, particularly with regard to focusing and magnification, can be corrected automatically. Derivation of algorithms for such corrections and their experimental verifications are presented in this paper. Furthermore, a more accurate analytical expression for the focal length of an aperture lens is derived.

Czech name

Korekce zvětšení a zaostření v rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou

Czech description

Katodová čočka se s úspěchem používá v rastrovací elektronové mikroskopii k získání velmi malých dopadových energií. Využívá účinků elektrického pole pod pólovým nástavcem objektivové čočky, které zpomalí elektrony primárního svazku na požadovanou energii. Zápornou elektrodu tvoří nejčastěji pozorovaný vzorek. Optické vlastnosti katodové čočky ovlivňují řadu vlastností mikroskopu, především vztah buzení objektivové čočky a pracovní vzdálenosti, celkové zvětšení mikroskopu a úhel dopadu elektronů. V počítačem řízeném mikroskopu mohou být některé z těchto jevů automaticky korigovány, zejména zvětšení a zaostření. Tato práce se soustředí na odvození algoritmů pro tento účel a odvození přesnějšího analytického výrazu pro ohniskovou délku rozptylky tvořenéelektrickým polem v otvoru objektivové čočky.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KJB2065301" target="_blank" >KJB2065301: Selected applications and futher development of the method for imaging of insulators in the scanning electron microscope with a cathode lens</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Scanning

ISSN

0161-0457

e-ISSN

—

Volume of the periodical

28

Issue of the periodical within the volume

3

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

9

Pages from-to

155-163

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—