Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00049017" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00049017 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope
Original language description
Electron optical characteristics of the cathode lens mode, enabling one to decelerate the electron beam bombarding the specimen in a scanning electron microscope down to arbitrarily low energies, are summarized. Contrast mechanisms appearing at very lowenergies below 100 eV are described, together with detection strategies capable of acquiring these contrasts. Illustration examples are provided.
Czech name
Režim katodové čočky v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Czech description
Je shrnuty elektronově optické charakteristiky režimu katodové čočky, umožňujícího zbrzdit elektronový svazek bombardující preparát v rastrovacím elektronovém mikroskopu na libovolně nízkou energii. Jsou popsány kontrastní mechanismy projevující se při velmi nízkých energiích pod 100 eV společně s detekčními strategiemi schopnými tyto kontrasty zachytit. Jsou předloženy ilustrující příklady.

Project
<a href="/en/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
80-239-6285-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
49-52
Publisher name
ISI AS CR
Place of publication
Brno
Event location
Skalský dvůr
Event date
May 22, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)