Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00049023" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00049023 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM
Original language description
This paper deals with the detection of signal electrons in the SEM at primary beam energies of 3 keV and less. Special attention is paid to the detection of backscattered electrons which is at low primary beam energies very problematic.
Czech name
Detekce signálních elektronů v nízkonapěťové SEM
Czech description
Práce se zabývá detekcí signálních elektronů v SEM při energiích primárního svazku 3 keV a nižších. Zvláštní zřetel je brán na detekci zpětně odražených elektronů, která je při nízkých energiích primárního svazku problematická.

Project
<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
80-239-6285-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
71-72
Publisher name
ISI AS CR
Place of publication
Brno
Event location
Skalský dvůr
Event date
May 22, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)