Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00050937" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00050937 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
Original language description
New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.
Czech name
Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu
Czech description
Byl navržen a odzkoušen nový osmikanálový detektor pro snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů. Detektor je založen na kanálkové destičce, za níž je symetricky vůči optické ose umístěno osm soustředných kruhových detektorů. Vysoká sběrováúčinnost a vysoké zesílení detektoru až do 100 eV emisní energie je zajištěno působením katodové čočky. Již v prvních experimentech se detektor osvědčil jako užitečný pro zobrazení polykrystalických struktur.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
6th Japanese-Polish Joint Seminar on Materials Analysis
ISBN
4-9903248-0-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
13-14
Publisher name
University of Toyama
Place of publication
Toyama
Event location
Toyama
Event date
Sep 11, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—