Multichannel detector of low energy backscattered electrons

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00095347" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00095347 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů

Original language description

Byl navržen, zkonstruován, vyroben a vyzkoušen paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky pro rastrovací elektronový mikroskop. Detektor je schopen zachytit elektronyodražené s polárním úhlem emise až do 90deg s energií od několika set eV do několika desítek keV. Systém využívá principu katodové čočky a proto je možné plynule měnit jak energii dopadajících elektronů tak úhlové rozložení emitovaných elektronů ze vzorku. Experimenty potvrdily úhlovou selektivitu kontrastu krystalické struktury.

Czech name

Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů

Czech description

Byl navržen, zkonstruován, vyroben a vyzkoušen paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky pro rastrovací elektronový mikroskop. Detektor je schopen zachytit elektronyodražené s polárním úhlem emise až do 90deg s energií od několika set eV do několika desítek keV. Systém využívá principu katodové čočky a proto je možné plynule měnit jak energii dopadajících elektronů tak úhlové rozložení emitovaných elektronů ze vzorku. Experimenty potvrdily úhlovou selektivitu kontrastu krystalické struktury.

Type

X - Unclassified

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů