Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00044292" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00044292 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Multi-Channel Detection of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
Original language description
A multi-channel plate based detector of backscattered electrons (BSE) with eight-channel collector has been designed and tested. Combination of with the cathode lens enables one to acquire also slow BSE and high-angle emitted BSE that are not acquired with standard detector assemblies. Basic performance data are presented.
Czech name
Mnohakanálová detekce úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu
Czech description
Byl navržen a odzkoušen detektor zpětně odražených elektronů (BSE) na bázi kanálkové destičky, opatřený osmikanálovým kolektorem. Jeho kombinace s katodovou čočkou umožňuje zachycovat rovněž pomalé BSE a BSE emitované pod vysokými úhly vůči normále k povrchu, které standardní detektory nedetekují. Jsou prezentovány základny parametry systému.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Microscopy and Microanalysis
ISSN
1431-9276
e-ISSN
—
Volume of the periodical
12
Issue of the periodical within the volume
Suppl. 2
Country of publishing house
US - UNITED STATES
Number of pages
2
Pages from-to
—
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—