Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092374" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092374 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Original language description
Article deals with the problems of imaging of non-conductive samples in the SEM that are caused mainly by charging. Use of the low primary beam energy and the observation by means of backscattered electrons are proposed as methods of suppression of charging artifacts in the image. Newly developed detector of backscattered electrons for the low energy SEM is described and images of uncoated non-conductive samples without charging artifacts taken by this detector are presented.
Czech name
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Czech description
Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy
ISBN
978-80-239-9397-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
111-112
Publisher name
Czechoslovak Microscopy Society
Place of publication
Prague
Event location
Prague
Event date
Jun 17, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—