Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00308202" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00308202 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM

Original language description

The scanning electron microscope has proven itself efficient for determining dopant concentrations in semiconductors. Contrast between differently doped areas is observable in the secondary electron emission. Multiple studies have revealed quantitative relations between the image contrast and dopant concentration. However, intimate examination shows a low reproducibility of the contrast level for a particular local difference between the doping rates. Data about dynamic behaviour of the dopant contrastand its dependence on the status of the sample surface are presented.

Czech name

Tvorba dvourozměrných profilů dopantu s níkoenergiovým SEM

Czech description

Rastrovací elektronový mikroskop se osvědčil jako nástroj pro zjištění koncentrace dopantu v polovodičích. Kontrast mezi rozdílně dopovanými oblastmi je pozorován v obraze sekundárních elektronů. Kvantitativním vztahem mezi obrazovým kontrastem a koncentrací dopantu se zabývá více studií. Podrobný výzkum však ukázal nízkou reprodukovatelnost úrovně kontrastu mezi rozdílně dopovanými strukturami. V článku je ukázáno dynamické chování kontrastu dopantu a jeho závislost na stavu povrchu vzorku.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Microscopy

ISSN

0022-2720

e-ISSN

—

Volume of the periodical

230

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

8

Pages from-to

76-83

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—