High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00314941" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00314941 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy

Original language description

We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe canbe displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitivesensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.

Czech name

Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou

Czech description

Prezentujeme systém polohování vzorku pro různé typy mikroskopie s lokální sondou s interferometrickým měřením polohy. Polohování rozšiřuje významně rozsah zobrazení mikroskopie, kdy nejen sonda může být vychylována v malém rozsahu piezoelektrickými prvky, ale i vzorek může být posouván ve větším rozsahu. Polohovací stolek umožňuje polohování s nanometrovým rozlišením ve všech třech osách v režimu zpětnovazební regulace s měřením polohy kapacitními snímači. Interferometrický systém monitorování všech vevšech šesti stupních volnosti zajišťuje plnou metrologickou návaznost polohování na základní etalon délky a zlepšuje rozlišení a celkovou přesnost polohy.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Ninth International Symposium on Laser Metrology. (Proceedings of SPIE Vol. 7155)

ISBN

978-0-8194-7398-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

8

Pages from-to

—

Publisher name

SPIE

Place of publication

Bellingham

Event location

Singapore

Event date

Jun 30, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—