Interferometric displacement measurement for local probe microscopy

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00316634" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00316634 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Interferometric displacement measurement for local probe microscopy
Original language description
We present an arrangement for positioning and interferometric measurement of a sample for various types of local probe microscopes. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where the stage allows motion with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.
Czech name
Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou
Czech description
Prezentujeme uspořádání pro polohování a interferometrické měření vzorku pro různé druhy mikroskopů s lokální sondou. Polohování významně rozšiřuje rozsah mikroskopů s lokální sondou, kde polohovací stolek nabízí nanometrové rozlišení ve všech třech osách v režimu zpětnovazební regulace s detekcí polohy kapacitními snímači. Interferometrický systém sledující polohu stolku ve všech šesti stupních volnosti zajišťuje plnou metrologickou návaznost na základní etalon délky a zlepšuje rozlišení a přesnost měření polohy.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
ICPM 2008 - International Conference on Precision Measurement
ISBN
978-3-938843-38-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
—
Publisher name
Technische Universität llmenau
Place of publication
llmenau
Event location
Ilmenau
Event date
Sep 8, 2008
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)